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無(wú)塵車(chē)間為什么要控制溫濕度?

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無(wú)塵車(chē)間為什么要控制溫濕度?

發(fā)布日期:2019-05-13 作者:123 點(diǎn)擊:

    無(wú)塵車(chē)間為什么要控制溫濕度?主要作用是什么,具體有什么措施?

    無(wú)塵車(chē)間、潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來(lái)確定,在滿足加工工藝的條件下,無(wú)塵廠房首選應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣凈化要求的提高,工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越高,無(wú)塵凈化車(chē)間必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。

例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間,這種車(chē)間不宜超過(guò)25度?!穸冗^(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。
  然而對(duì)于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則:
  1.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。
   2.相通潔凈室之間的門(mén)要開(kāi)向潔凈度級(jí)別高的房間。

    3.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
  壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。
  對(duì)于亂流潔凈室 由于主要靠空氣的稀釋作用來(lái)減輕室內(nèi)污染的程度,所以主要用換氣次數(shù)這一概念,而不直接用速度的概念,不過(guò)對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下要求;
  1.送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大,和單純空調(diào)房間相比,要求速度衰減更快,擴(kuò)散角度更大。
  2.吹過(guò)水平面的氣流速度(例如側(cè)送時(shí)回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大干0.2m/s。
在我國(guó),《空氣潔凈技術(shù)措施》和<潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范))都是這樣規(guī)定的
  垂直平行流(層流)潔凈室≥0.25m/s
  水平平行流(層流)潔凈室≥0.35 m/s

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