深圳市泰潔爾凈化科技有限公司(總部)
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廣東省深圳市南山區(qū)西麗鎮(zhèn)留仙洞大廈807室
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深圳市寶安區(qū)沙井鎮(zhèn)新橋第三工業(yè)區(qū)7號廠房
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深圳市泰潔爾凈化科技有限公司武漢分公司
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電子光電行業(yè),由于其人員密集性,而人員又是潔凈室最主要的污染源,所以在設(shè)計、人員動向、管理、節(jié)能等方面都要做到全面的考量。
光學(xué)微電子凈化工程一般包括:
1、 潔凈生產(chǎn)區(qū)
2、 潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)
3、 管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息等)
4、 設(shè)備區(qū)(包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房)
光學(xué)微電子凈化工程凈化原理
氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風機送風→管道→高效凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌
等顆粒 → 回風百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過程,即可達到凈化目的。
光學(xué)微電子凈化工程凈化參數(shù)
換氣次數(shù):100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa
平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。
溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度300LX。
光學(xué)微電子凈化工程結(jié)構(gòu)材料
1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點為美觀、剛性強。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。
2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
3.送回風管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4.高效送風口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔
隨著集成電路光刻等工藝發(fā)展,其生產(chǎn)環(huán)境對潔凈度要求也越來越高,CLASS 100/10級,甚至1級。
我司設(shè)計團隊將根據(jù)客戶所屬產(chǎn)業(yè)實際情況、工藝要求、管理需求,按節(jié)能環(huán)保的要求,提供潔凈室及配套系統(tǒng)整廠規(guī)劃設(shè)計。
1、Class 1K 、10K 、100K分產(chǎn)品需求有不同等級無塵室;
2、壓縮空氣、有機排氣等生產(chǎn)配套系統(tǒng);